Samsung-Corning 亀尾でフィルムコーティング工場を稼動

　Samsung-Corningは、亀尾(Gumi)事業場内に建設していたフィルムコーティング工場の稼動を開始した。200億ウォンを投資したもので、PDAなどモバイル機器に使われるタッチパネル用フィルム、屋外広告看板や携帯電話のバックライトなどに利用される無機EL用フィルム、調光ガラス電極用フィルムなどをコーティングする。また、今後、TFT-LCD、 PDP、有機ELD向けの成膜も本格展開する。

　フィルムコーティング工場は年産200万m3で、Samsung Electronicsをはじめとする国内ディスプレイメーカーはもちろん、日本や台湾など海外へも輸出する。同社は、コーティング事業の売上高を01年の1200億ウォンから、06年に3000億ウォンへ増やし、世界シェアを15%から24%へ引き上げたい考え。これにともない今後5年間で1000億ウォンを追加投資する。

凸版印刷 総合研究所に電子ペーパー用前面基板生産ラインを導入

　凸版印刷は、総合研究所(埼玉県杉戸町)にE Inkのマイクロカプセル型電気泳動ディスプレイ用前面エレクトリック基板製造ラインを導入する。今年末から試作を開始、来年初めから量産する予定。そして、05年には8型換算で月産150万枚という量産体制を構築する。
　生産した前面基板はフィリップスモバイルディスプレイシステムズ神戸へ供給。フィリップスがa-Si TFT基板を製造するとともにモジュール化してセットメーカーへ出荷する。

iFire 三洋電機とTV用無機ELDを共同開発

　iFire Technologyと三洋電機は、iFireのソリッドステート無機ELディスプレイを共同開発すると発表した。三洋電機では提携の理由について「iFireの無機ELD技術は30型以上の大型TV市場で高いシェアを獲得する有望候補」としている。

ソノコム ハードコートエマルジョンマスクをブラッシュアップ

　ソノコムは、昨年から製品化しているハードコートエマルジョンマスクマスクをブラッシュアップしたことを明らかにした。具体的には、保護膜の鉛筆硬度をHから4Hへ向上。また、マスクのクリーニングに一般的に用いられるアセトンにも対応できるようにした。

Exitech PDP厚膜材料のパターニングにレーザー直描装置を投入

　英Exitechは、PDPの厚膜パターニング工程向けとしてレーザー直描装置を開発中であることを明らかにした。すでに出荷済みの薄膜パターニング用レーザードライエッチング装置のようにエッチング対象をダイレクトでエッチングするのではなく、マスクレス露光装置として採用を呼びかける考えで、Ag電極、バリアリブ、ブラックストライプなどに照準を当てている。

　詳細はまだ明らかにされてないが、汎用のUV感光フォトレジストが使用できるよう、UVレーザーを用いる方向で検討している。この場合、従来のArレーザー(488nm)搭載装置に比べレジストコストが低減できるうえ、クリーンルームをレッドルームにする必要がないという利点がある。

Samsung Electronics FPD研究所を設立

　Samsung Electronicsは、次世代FPDの基盤技術を開発するため「フラットパネルディスプレイ研究所」を設立する。来年初めに開設する予定で、有機ELディスプレイ、電子ペーパー、プラスチック基板、有機TFTなどの要素技術を開発する。

Samsung Electronics 中国蘇州にTFT-LCDモジュール組立工場を建設

　Samsung Electronicsは、中国・蘇州にTFT-LCDモジュール組立工場を建設する。先頃、工場建屋に着工、来春から稼動を開始する予定。

日本ペイント エマルジョンマスク用保護膜材料を外販

　日本ペイントはエマルジョンマスク用保護膜材料「グラシアコート」を開発、外販を本格化する。
　グラシアコートは有機系材料の低温硬化性と無機材料の高硬度という双方の兼ね備えたポリシラン系ポリマー材料。膜単体の可視光透過率は90〜97％で、鉛筆硬度も2H〜3Hをマーク。耐溶剤性やワークへの密着性も良好で、もちろんコーティング不良の場合も溶剤によってリワークすることができる。

ITRI 312ppiの低温Poly-Si TFT-LCDを開発
直視型に加え投射アプリにも適用可能

　台湾・工業技術院(ITRI：Industrial Technology Research Institute)は、312ppiという世界最高クラス解像度の低温Poly-Si TFT-LCDを開発した。対角4.1型でXGAを実現したもので、3〜5日に東京ビッグサイトで開かれた「第12回フラットパネルディスプレイ製造技術展」で公開した。

　開口率は50％で、デザインルールは最小2μmに微細化。また、フォトマスク数は低温Poly-Si TFT-LCDでは破格ともいえる6枚に削減した。PDAやWeb Padといった直視型アプリケーションに加え、これだけの高精細になると1枚方式プロジェクタにも使えるという。

有機ELDの薄膜封止膜としてスパッタSiNx系が急浮上
豊島製作所がスパッタターゲットを考案

　豊島製作所は、有機ELディスプレイの薄膜封止膜としてSiNx系ターゲットを開発した。SiNxに吸湿性の低い材料を添加したもので、有機ELDのファイナル封止膜として用いることができる。

LG.Philips LCD 中国にTFT-LCDモジュール組立工場を建設

　LG.Philips LCDは、 中国・南京市にTFT-LCD組立工場を建設する。9月に着工し、03年上半期に稼動を開始する。
　コスト競争力を高めるため、バックライトユニットメーカーなど部品メーカーに対しても南京への進出を呼びかける。

フィリップス神戸 E Inkのアクティブ型電気泳動ディスプレイを量産

　フィリップスモバイルディスプレイシステムズ神戸は、E Inkの開発したアクティブマトリクス型電気泳動ディスプレイを量産する。E　Inkから前面エレクトリック基板の生産を受託している凸版印刷から前面基板を調達する一方、本社工場(兵庫県神戸市)でa-Si TFT基板を生産し、前面基板とアッセンブリしてモジュール化する。

　詳細はE Express創刊号(7月1日発行)

トッキ 新潟県見附市の見附工場に着工

　トッキは、新潟県見附市中部産業団地で「見附工場」の建設に着工した。
　工場は管理棟3階・工場棟1階で、延床面積は1万4245m2。投資額は33億円程度。来年2月末に完成予定で、長岡工場から有機ELD関連生産設備を移転するため、稼働は3月下旬になる見通し。完成すると生産能力は3倍強にアップする。
　なお、04年春には研究開発棟を建設する予定。

ADYグランプリはIDTechの22.2型TFT-LCDなどに
部材部門はオムロンの携帯電話用バックライト

　7月3日、「第12回フラットパネルディスプレイ製造技術展」の展示会場(東京ビッグサイト)で第7回アドバンスト オブ ザ イヤー(ADY)の表彰式が行われた。ディスプレイ・モジュール部門グランプリにはインターナショナルディスプレイテクノロジーの「22.2型QUXGA-W 9.2M画素LCDモニター」が選ばれた。印刷物に匹敵する高精細モニターを実現したのが受賞理由｡

　受賞したのは表の通りで、製造装置部門はキヤノンの「MPA-7500/MPA-7500CF(液晶基板露光装置/カラーフィルター基板露光装置)」、検査装置部門は大塚電子の「LCD評価装置LCD-5200/7200」、部材部門はオムロンの「携帯電話用高効率・高輝度バックライト」がそれぞれグランプリを受賞した。

Applied Films ラインソース成膜の有機ELD用インライン装置を開発
ワークの搬送速度で膜厚をコントロール

　Applied Filmsは、低分子有機ELディスプレイ用縦型インライン成膜装置を開発した。ラインソースユニットから蒸着材料を、垂直移動するワークに成膜する仕組みで、コンベンショナルな水平式ポイント蒸着装置装置に比べ膜厚ユニフォミティや材料利用率を向上した。また、ラインソースユニットを固定しワークの搬送速度を変えて膜厚を制御するため、成膜レートの変動も少ないという。

　開発した縦型インライン装置「VES400」は有機材料の蒸着だけでなく、プレヒートやプラズマ洗浄といったワークのプリトリートメント、カソード・補助電極メタルの蒸着・スパッタリング、ITOのスパッタ、アルカリバッファ材料の電子ビーム(EB)蒸着など、低分子有機ELDの成膜が一通りできるユニットを装備。先頃、1号機を独Federal Ministry for Education & Researchへ納入。今夏から400×400mmガラス基板を用いて有機ELDの成膜テストを開始する。

Samsung Electronics 1100×1250mmラインを10万枚/月へ増強

　Samsung Electronicsは、9月に稼働する1100×1250mm対応a-Si TFT-LCDラインを増強する。03年上期で6万枚/月にする予定だったが、10万枚/月へ引き上げる。先頃、1100×1250mm対応ラインの新設を発表したLG.Philips LCDに対抗するためと思われる。

エイコーエンジニアリング R&D用有機ELD蒸着・封止装置を開発
1チャンバで有機材料、メタル、封止材料が成膜可能

　有機EL蒸着セルメーカーとして知られるエイコーエンジニアリングは、コンパクトな有機ELディスプレイ用蒸着・封止装置「EO-5」を開発した。R&D向けで、有機材料の蒸着はもちろん、メタルや無機封止材料も成膜できる。価格は1500〜2000万円。

日立製作所 茂原の730×920mmラインを4万枚/月に増強
液晶テレビ用a-Si TFT-LCDを量産

　日立製作所は、茂原製造本部(千葉県茂原市)のa-Si TFT-LCD製造ライン「V3ライン」を増強する。
　液晶テレビ用a-Si TFT-LCD市場へ進出する狙いで、730×920mmマザーガラスの投入能力を2万枚/月から、来年上期に4万枚/月へ引き上げる。投資額は約230億円。液晶テレビやモニタ向けに開発した高開口率パネル「Advanced Super-IPSパネル」を量産する。
　同社ディスプレイグループは、10月1日付で「日立ディスプレイズ」として分社化。ディスプレイ専業メーカーとして安定的な高収益体制を確立し、グローバル事業の拡大と新事業の展開に積極的に取り組む方針。

パイオニア 静岡パイオニアにPDPラインを新設
9月に着工し年産25万台体制に

　パイオニアは、静岡パイオニア敷地内に第3PDP生産ラインを新設する。
　第3ラインは来春の着工を予定していたが、需要拡大にともない、着工時期を今年9月と半年前倒しする。生産能力は年間10万台で、来年9月に立ち上げる。投資額は160億円。この結果、既存の第1、第2生産ライン(年産計15万台)と合わせ年間25万台体制となる。

日本製鋼 低温Poly-Si TFT用新型ELA装置を開発
Samsung Electronicsへ1号機を出荷

　日本製鋼所は、逐次的横方向結晶化(SLS)プロセス用エキシマレーザーアニール装置を開発、先頃、1号機をSamsung Electronicsへ出荷した。

　今回、日本製鋼所が米国コロンビア大学と共同開発したのは逐次的横方向結晶化(SLS:Sequential Lateral Solidification)エキシマレーザーアニール装置。日本製鋼はコロンビア大学に加え、低温Poly-Si TFT装置のビジネスパートナーである独Microalas Lasersystemと独Lambda Physikと装置を共同開発してきた。

　SLS技術は、ガラス基板上にドライバ回路をはじめとする各種回路を一括形成してシステム・オン・グラスを実現するもの。今後、日本製鋼では従来のレーザーアニール装置と合わせ年間100億円以上の売り上げを目指している。

FHP 高輝度・長寿命の32型/37型/42型PDPを開発

　富士通日立プラズマディスプレイは、高輝度と長寿命を両立したワイド42V型/37V型/32V型PDPを製品化する。輝度は1000cd/�u(42V型)と、従来モデルに比べ3割以上高めた。

　新シリーズは、サブフィールド毎に映像の明るさに応じてサステインパルス幅を制御する負荷率適応処理や高効率蛍光体の採用などにより業界最高クラスに高輝度化。42V型で1000cd/�u、37V型/32V型で900cd/�uのピーク輝度を実現した。

　また、RGB3色とも蛍光体を新たに開発し、高発光効率・高色純度・長寿命を実現した。とくに、PDPのウィークポイントとされていた青色蛍光体の輝度低下を従来比30％改善し、輝度や色度の低下を大幅に低減した。

E Ink 腕時計や電子POPで次々と電子ペーパーの採用が決定

　E Inkは、本誌の独占取材でマイクロカプセル型電気泳動ディスプレイの商談状況を明らかにした。
　それによると、すでに納入済みのインフォメーションボード用ディスプレイのほか、電子POPや腕時計、そしてe-book(電子ブック)や電子辞書などで次々と正式採用が決まっているという。また、携帯電話とワイヤレスまたはワイヤード接続する携帯サブディスプレイも商談中としている。