FEDエミッタとしてCNTに強力なライバルが
長岡科学技術大学がウィスカーエミッタを提案

　ポストSpindt型エミッタとして先行するCNT(カーボンナノチューブ)に強力なライバルが頭角を現してきた。長岡科学技術大学・斎藤秀俊助教授の研究チームが開発したウィスカー(whisker)型エミッタで、大気開放型CVD法によって先端が極めて微細で鋭角なエミッタが実現できる。パターニングや垂直配向処理は不要で、エミッタ特性はCNTとほぼ同等だという。

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シャープ 天理工場でシステム液晶の量産開始

　シャープは、10月から天理工場でデジタルスチルカメラ、携帯電話、PDAといったモバイル機器用システム液晶の生産を開始する。
　月産能力は2型換算で250万枚で、620×750mmマザーガラスを採用する。投資額は約460億円。

シャープ 2D/3D切り替え表示可能なLCDを開発
3D LCDのコンソーシアム設立へ

　シャープとシャープ・ヨーロッパ研究所は、専用メガネが不要な3D LCDを開発した。

　2Dと3Dを電気的に切り替えることが可能なため、臨場感の高い3D専用商品だけでなく、既存のアプリケーションに搭載することができる。具体的には、たとえばパソコンに搭載すれば文章作成や表計算は2D表示、CGやゲームなどの3D専用コンテンツを利用する際はリアルで臨場感あふれる3D表示に切り替えるなど、利用シーンにマッチした使い方ができる。

　PC、液晶テレビ、CG作成、CAD/CAM、店頭販売用ディスプレイ、医療用といった大型分野から、PDA、電子手帳・図鑑、アミューズメントなど中小型分野まで幅広い用途を見込んでいる。

　同社は3D LCDの普及拡大、そして3Dコンテンツを拡充するため、ハード、ソフト、コンテンツなどさまざまな業種の企業と協力・連携し、コンソーシアムの設立を働きかけていく方針。

ミクロ技研 DFR専用のPDP向け剥離装置を公表

　ミクロ技研は、独自開発したPDP用DFR(ドライフィルムフォトレジスト)剥離装置の概要を明らかにした。ワークとスプレーノズルを傾斜配置し、剥離したDFRカスが搬送シャフトに絡まないようにしたのが特徴で、すでに7台の納入実績があるという。

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アルバックグループ 八戸に大型部品加工・表面処理・洗浄の一貫工場を建設

　アルバック、アルバック東北、アルバックテクノ、UMAは八戸北インター工業団地内(青森県八戸市)に大型真空装置用部品の機械加工、表面処理、精密洗浄一貫処理工場を増設する。アルバック東北が機械加工事業、アルバックテクノが表面処理事業、UMATが精密洗浄事業を担当する。

　工場は延べ床面積約6000m2で、最大2.6×2.6mのステンレスやアルミ材料部品を機械加工する。また、表面処理では硬質アルマイト処理、精密洗浄ではケミカル、メカニカル剥離、純水による精密洗浄・溶射を行う。いずれも同一施設内で処理するため、輸送費が抑制できるほか、海上輸送が必要な場合は隣接する八戸港が利点としている。

日立製作所 PDA用64階調TFTドライバを製品化

　日立製作所は、PDA向けTFT-LCD用ソースドライバIC「HD66778」を開発、10月からサンプル出荷を開始する。階調数は64、出力数は492/360出力に対応している。価格はストレート配列金バンプ付きチップで1300円。

　HD66778はチップ幅を1.35mmに抑制、COGによるコンパクト実装を実現。また、タイミング制御回路や、ゲートドライバを内蔵したa-Si TFT-LCD技術対応の「ゲートドライバインターフェース用35V高耐圧レベルシフト回路」を内蔵し、部品点数の削減によるシステムのローコストが可能となっている。さらに、492/360の出力切換えにより、HVGA(320×480)、QVGA(240×320)をそれぞれ2個のチップで表示できるようにした。

　そのほか、表示領域の最外周に特定色の枠を表示するボーダーカラー表示機能に対応。表示文字の背面色に応じて枠の色を変更できるようになっている。

中国BOE HydisのTFT-LCD事業を買収

　Hynix Semiconductorは、中国・BOE Technology GroupへHyundai Display Technology(Hydis)のTFT-LCD事業を売却すると発表した。HydisのTFT-LCD工場・製造ラインを譲渡するもので、売却金額は3億8000万ドル。10月25日までに正式契約を締結し、11月30日までに事業譲渡作業を完了する。

　BOEはHydisのTFT-LCD技術を取得し、韓国・利川にあるTFT-LCD製造ラインでTFT-LCDを生産。また、北京に第5世代対応TFT-LCDラインを新設する予定。

　BOEはCRTやモニターなどを生産するPC周辺機器メーカーで、昨年末に半導体エンジニアリングと共同でHydisのTN/STN-LCD事業を買収している。

TDK 高輝度の4.25型無機ELDを開発

　TDKは、4.25型無機ELディスプレイを開発した。iFire Display Technologiesの技術をベースに、独自開発した青色をはじめとした高輝度蛍光体を採用することにより、白色輝度200cd/m2と世界最高輝度を実現した。

　画素数は240×180で、消費電力は15W(白色時)、ピクセルピッチは0.11×0.33mm。今回採用した蛍光体材料は半減寿命3万時間以上を確認済みだという。

　なお、開発したパネルは10月1日から開催される「CEATEC JAPAN 2002」に参考出展する予定。

松下電器と東芝 CRT事業を統合し合弁会社を設立

　松下電器産業と東芝は、ブラウン管(CRT)事業を統合することで合意した。03年1月1日付で事業統合へ向けた準備会社を設立し、02年度内に統合を完了する予定。

　今回の事業統合は、両社のCRT事業の開発力、販売力、製造力を結集することにより経営の効率化を図り、グローバル競争に勝ち残るのが目的。新会社は大阪府高槻市に設置、社長は松下電器から派遣する予定。出資比率は松下電器が60％、東芝が40％。新会社は連結売上高2700億円(02年度)、従業員1万6000人で、テレビ用CRTで世界3位のメーカーとなる。

　統合範囲は、国内の製造を除くすべての研究開発、製造、販売機能で、統合対象は松下電器の中国、米国、ドイツ、マレーシアにある各拠点、東芝の米国、タイ、インドネシアにある各拠点。また、両社が出資して今年4月に発足したCRT資材共同購買会社「エムティ・ディスプレイ・プロキュアメント」も事業統合に含まれる。一方、国内の製造拠点に関しては新会社が委託する形で両社がそれぞれ生産を継続する。

AIXTRON OVPD装置をUDC以外からも受注

　今年1月にOVPD(Organic Vaper Phase Deposition)装置をUniversal Display(UDC)へ納入したAIXTRON(ドイツ)は、2号機以降を他の有機ELDメーカーから受注していることを明らかにした。

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日本ゼオン 有機ELDのカソードセパレータ用レジストをバージョンアップ

　日本ゼオンは、有機ELディスプレイのカソードセパレータ形成用ネガ型フォトレジスト「ELX-168」の詳細を明らかにした。従来モデルの「ZPN1100」に比べ現像マージンを大幅に拡大。また、300℃程度までなら線幅や形状がほとんど変化しないなど耐熱性も向上させた。さらに、放出されるアウトガスもデータ上でパネルのライフに影響がないことを立証した。

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KRIのフレキシブル基板プロジェクトがスタート
100μm以下の極薄ガラスに有機・無機合成膜を形成しフレキシブル化

　関西新技術研究所(KRI)が開発したフレキシブル基板の開発プロジェクトがスタートする。板厚100μm以下の極薄ガラスに有機・無機ハイブリッド材料をコーティングしてフレキシブル化するもので、LCD、有機ELディスプレイ、電子ペーパーのサブストレートとして使用すれば超薄型軽量フレキシブルパネルが実現する。コーティング膜はSiO2がメイン成分のため基本特性はガラスとほぼ同等で、ガスバリア性や耐熱性もノープロブレムだという。

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三洋電機 グループの事業構造改革を断行

　三洋電機グループは、経営資源を統合しスケールメリットを追求した効率経営を図るため、事業構造改革を断行すると発表した。
　具体的には、鳥取三洋電機の「ネットワーキング事業」と「ハイリビング事業」を12月1日付で別会社化し、三洋電機のマルチメディアカンパニー、ホーム・アプライアンスカンパニーの傘下とする。新会社は「ネットワーキング�梶vと「CE�梶vで、12月1日付で設立される予定。一方、鳥取三洋電機はLCD事業やレーザーダイオード事業といった電子デバイス事業に特化する。

Eastman Kodak アクティブ有機ELDを自社販売

　Eastman Kodakは、FPDの販売事業に進出する。三洋電機と合弁で設立したアクティブマトリクス駆動有機ELディスプレイメーカー「エスケイ・ディスプレイ」の生産したパネルを自社ブランドで販売するもので、まずは自社のデジタルスチルカメラに搭載する予定。

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ヒューネット サムスンSDIへFS方式LCDをライセンス供与

　ヒューネットは、サムスンSDIへフィールドシーケンシャル(FS)方式LCDのライセンスを供与することで合意した。1か月以内に正式契約する予定で、FS方式LCDを共同開発する。

　契約は、�@サムスンSDIがヒューネットのFS方式LCDの特許・ノウハウ、コントローラーLSIを使用してLCDを製造・販売する�AヒューネットはサムスンSDIが製造した商品を販売する�B両社で次世代携帯電話用LCDを共同開発する、といった内容。

ニコン マルチレンズ搭載型露光装置を発表
最大1400×1700mm基板に対応

　ニコンは、第5/6世代a-Si TFT-LCD用露光装置「FX-51S/61S」を開発、来春から販売を開始する。フォトマスク上のパターンを結像し、走査露光とステップ移動を繰り返して露光する装置で、7本構成のマルチレンズ投影光学系を搭載した。どちらもオプションを追加すればカラーフィルタにも対応できる。

　両機種とも1回の走査で36型ワイドや40型パネルが露光可能。スループットはFX-51Sが67秒/プレート、FX-61Sが70秒/プレート(4スキャン、g＋h＋i線、レジスト感度30mJ/cm2時)。解像度はL&S＝3μm、アライメント精度は0.6μm以下(3σ)となっている。なお、フォトマスクは最大で800mm×920mmを使用する。初年度は計20台の出荷を見込んでいる。

丸興工業 FED蛍光パネルに電子ビームを照射し脱バインダ＆発光検査

　丸興工業は、FED蛍光パネル評価装置「FVT」を本誌編集部に独占公開した。貼り合わせ前の蛍光パネルに電子ビームを照射して脱バインダをする装置で、脱バインダに加え、発光検査ができるというメリットがある。

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電子デバイスプロセスに革命を起こすナノペースト
IJ法の守備範囲を拡大、スクリーン印刷の可能性も向上

　粒径10nm以下というナノパーティクルペーストを電子デバイスに用いる動きが水面下で広がっている。その代表がアルバック・コーポレートセンターの「ナノメタルインク」とハリマ化成の「ナノペースト」で、ここにきてスクリーン印刷やインクジェットプリンティング(IJ)でコーティングしようという動きが活発になってきている。
　その最大のアドバンテージは、“必要なところに必要なパターンを形成する”というアディティブワールドを大幅に広げること。E Express 9月15日号のSPECIAL FEATUREではナノパーティクルペーストのポテンシャルを検証した。

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