科学技術振興事業団や大阪大学など 誘導結合プラズマCVD技術を開発

　科学技術振興事業団や大阪大学・三宅正司氏らは、結晶性の高いPoly-Si膜をガラス基板上に直接成膜可能な誘導結合プラズマCVD技術を開発した。低温Poly-Si TFTをはじめとするシステム・オン・パネルはもちろん、アクティブマトリクス型有機ELディスプレイやFEDなどに応用可能で、すでに680×880mm基板への成膜に成功。ベンチャー企業を設立し、Poly-Si膜付きガラス基板を生産することを模索している。

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クリスタージュ TFT-LCD事業を本格展開

　クリスタージュは、台湾・Prime View International(PVI)から完全に独立し、TFT-LCD事業を本格化させたことを明らかにした。セットメーカーからの依頼によりカスタム品を少量生産するほか、TFT-LCDメーカーからの次世代パネルの試作ニーズにも対応できるという。

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大日本印刷 センサー付ホロスクリーンシステムを開発
トータル空間プロデュースサービスを開始

　大日本印刷は、ホログラムスクリーンにタッチパネルのようなインタラクティブ操作性を付与した「センサー付ホロスクリーンシステム」を開発した。今後、ショールームやプレゼンテーション施設などをターゲットに、システム機器の販売から映像コンテンツ制作、空間設計・施工を含めたトータルサービスをスタートする。

　センサー付ホロスクリーンシステムは、従来のホログラムスクリーンを利用した映像システムに、遠距離から感知できるセンサーを加えたもの。ホログラムスクリーンにセンサー用の枠が不要になり、映像イメージを損なうことなく、タッチパネルのようなインタラクティブ性を確保した。システムはホログラムスクリーン、赤外線発光ダイオードを使用した遠距離センサー、制御用パソコン、プロジェクターで構成される。センサーは2つの発光ダイオードから出される光を指示棒や指先などに取りつけた反射板で反射させ、操作したい場所の座標を特定。操作する人や見学者にはタッチパネルで操作しているような感覚を与えることができる。

　価格は60型で600万円(映像コンテンツ制作費、空間設計・施工は含まず)を予定している。今後、ショウルーム、博物館・美術館、アミューズメント施設、企業のプレゼンテーション施設などのコミュニケーションツールとして拡販し、初年度で1億円、05年で5億円の売上を見込んでいる。

ヒューネット サムスンSDIへのFS方式LCD技術供与の詳細を明らかに

　ヒューネットは、サムスンSDIとFS駆動LCDをライセンス供与することで合意した件について詳細を明らかにした。
　携帯電話用ディスプレイのトップメーカー、サムスンSDIがFS方式LCDを製品化することで、1年以内に1000万枚以上のFS方式LCDが出荷され、ヒューネットブランド製品の製品化にも弾みがつくとしている。

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E Ink ICカード用電気泳動ディスプレイを開発

　米E Inkは、ICカード用アクティブマトリクス駆動マイクロカプセル型電気泳動ディスプレイ、並びにこれを搭載したICカードの試作品を開発した。SUSプレートを背面サブストレートに用いることで0.28mmという驚異的な薄型化を実現した。

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有機ELDのシール材塗布法としてスクリーン印刷が急浮上

　有機ELディスプレイのシール材塗布方法としてスクリーン印刷を採用しようという試みが目立ってきた。コンベンショナルなディスペンサ法に比べ塗布速度が大幅に速いためで、とくに携帯電話向けなどの小型パネルではそのアドバンテージは大きいといえる。反面、クリーン化やドライ雰囲気化など課題も少なくない。E Express 10月1日号ではシール材塗布方法としてのポテンシャルについてレポートしている。

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LG.Philips LCD テレビ用42型TFT-LCDを開発

　LG.Philips LCDは、世界初のテレビ用42型TFT-LCD(1280×768画素)を開発した。Super-IPS技術を適用してCRT並みの視野角を確保するとともに、輝度500nitと応答速度12msecを実現した。

　Diplay Searchによると、今年第2四半期のテレビ用TFT-LCD市場はシャープがシェア48.4％とトップ。以下、LG.Philips LCD(35.5%)、東芝松下ディスプレイテクノロジー(6.8%)、Samsung Electronics(6.8%)と続いている。TFT-LCDテレビ市場は02年が約130万台、04年が約750万台、06年が約1600万台になると予想している。

安川電機 有機ELガラス基板搬送ロボットを発売

　安川電機は、有機ELガラス基板搬送用真空ロボット「RVシリーズ(XU-RV960S5)」を発売する。可搬質量10kgの3軸水平多関節形真空ロボットで、最大400×500mmガラス基板が搬送できる。価格は980万円(コントローラ込み)で、年間150台の販売を見込んでいる。

　XU-RV960S5はクラスターツールでガラス基板の搬入、各種処理室間の搬送・移載から有機EL完成ガラス基板の搬出までという連続一括処理による量産システムに対応。ロボットアームの断面形状や部分寸法の工夫により高剛性化するとともに、アーム関節部でのたわみを抑えるための高定格荷重・高剛性の軸受の採用などにより、可搬質量10kgを実現した。

　また、ロボット本体ベース内に設けた昇降機構であるボールネジやリニアガイド、可動部の対真空シールに金属ベローズや磁性流体シールを採用。真空中でアーム部の昇降動作を実現し、高真空中(1×10-5Pa)における伸縮、旋回、昇降の3軸動作が可能。前後方向の最大ストロークは1485mm、旋回±170、上下ストロークは65mm。

　さらに、アーム部の昇降や伸縮時の振動抑制のため、昇降ガイドには高剛性のリニアガイドを採用したほか、ロボット高性能制御方式ARM(Advanced Robot Motion)制御を適用したロボットコントローラによる低振動化制御、高精度位置決め制御などによって、動作時の振動を低減し、繰り返し位置決め精度を±0.2mm以下に高めた。

関東化学 Ag合金エッチング液の特徴を公表 残渣レスでサイドエッチを低減

　関東化学は、Ag合金エッチング液「SEA-1」の概要を明らかにした。Ag-PdやAg-Pd-Cuなど各種Ag合金膜に対応でき、エッチング残渣レス化とサイドエッチング量の低減というトレードオフの関係を打破した。

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東芝セラミックスとノリタケカンパニー 焼成炉事業で提携を強化

　東芝セラミックスとノリタケカンパニーリミテドは、ノリタケが出資している東セラエンジニアリングを含めた各種工業炉事業の業務提携を強化するため、東芝セラミックスのグループ会社である東芝セラミックスファーネス(TCF)とノリタケの販売体制を一本化することで合意した。

　具体的には、
　�@ノリタケとTCFは10月から販売協力体制を確立し、将来、販売をノリタケに一本化する準備を進める
　�A東南アジアを中心とした海外展開を積極化し、日本・中国・東南アジアの3極体制での販売・製造網を構築する
　�B戦略製品として半導体部材用熱処理炉、太陽電池、燃料電池、2次電池用乾燥炉、キュア炉、焼成炉、ディスプレイ(PDP、LCD、ELD)乾燥炉、焼成炉の開発・販売を強化する
となっている。

長岡科技大・斎藤助教授の研究チーム
大気開放型CVDで大半のFED構造物作製へ

　長岡科学技術大学・斎藤秀俊助教授の研究チームは、独自開発したウィスカーエミッタを含めFED構造物の大半を大気開放型CVD法で形成することを目指している。絶縁膜、ゲート電極＆ゲートホール、ITOアノード、蛍光体層などで、これが実現すれば飛躍的なローコスト化が可能になる。

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低温Poly-Si TFTのa-Siプリカーサ膜をLP-CVD法で

　ガソニックス/セキテクノトロンは、低温Poly-Si TFTのプリカーサa-Si成膜装置としてLP-CVD装置の製品化を検討していることを明らかにした。プリカーサ膜の膜質を高めて、poly-Si化するエキシマレーザーアニール(ELA)工程のプロセスウィンドウを広げたり、脱水素化工程をスキップしようという狙いで、成膜テストでは予想以上の膜質・膜厚均一性が得られたという。

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NEC 世界初の電流ドライバ一体型有機ELDを開発

　NECは、26万色対応電流ドライバをガラス基板上に集積した携帯電話用システム・オン・グラス有機ELディスプレイを開発した。電流ドライバ内蔵有機ELDはもちろん世界で初めて。
　開発したのは2型(176×184画素)パネルで、輝度は100cd/m2、電源電圧は15V、フレーム周波数60Hz。

セントラル硝子 PDP用高歪点ガラス市場へ参入

　セントラル硝子は、PDP用高歪点ガラス市場へ参入する。宇部工場にある既存のフロートガラスラインで生産する予定で、3年後に30億円の売り上げを見込んでいる。

FTS 箱型プラズマ源を用いた新対向ターゲットスパッタ法を提案
半導体ではCuシード、有機ELDではカソードや封止膜で脚光

　エフ・ティ・エス コーポレーション(FTS)は箱型プラズマ源を用いた新対向ターゲット式スパッタリング法(NFTS)を考案、本誌に対しその優位性を明らかにした。完全プラズマフリー化によってワークへのプラズマダメージがないのに加え、ターゲット利用率が高いのが特徴で、21世紀半ばには従来のDCマグネトロンスパッタやRFスパッタをしのぐデファクトスタンダードという声もあるという。

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PDP基板の黄変メカニズム解明か？
黄変はPbOとAgの反応で発生

　PDPのバス・アドレス電極材料にAgを用いると、焼成後、ガラス基板が黄色く変色(黄変)する話は有名だ。その黄変メカニズムは明確に解明されてなかったが、ガラスペーストに含まれるPbOが原因で黄変が発生する公算が高くなってきた。E Express 10月1日号ではそのメカニズムと今後の影響について詳述している。

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日立ディスプレイズが発足

　日立製作所の100％子会社「日立ディスプレイズ」が10月1日、発足した。日立グループのディスプレイデバイスビジネスを引き継いだ国内最大級のディスプレイ専門メーカーで、03年度は2280億円の売上げを見込んでいる。
　資本金は100億円で、取締役社長には米内史明氏が就任した。本社は東京都千代田区大手町2-6-2の日本ビルヂング。

東芝松下ディスプレイ PDA用3.5型低温Poly-Si TFT-LCDを量産

　東芝松下ディスプレイテクノロジーは、PDA用3.5型低温Poly-Si TFT-LCDを開発した。03年4月から深谷工場(埼玉県深谷市)で量産を始めると発表した。VGA対応ながら、画面サイズを従来の4型から3.5型へ小型化し、モバイル性を向上させた。

NECプラズマディスプレイが業務を開始

　NECは10月1日付でカラーPDP事業およびNEC鹿児島のPDP部門を分社化し、「NECプラズマディスプレイ」に業務を移管した。
　NECプラズマディスプレイは東京都港区芝5-7-1に本社を設置。資本金は100億円で、鹿児島県出水市にあるPDP工場をNECから引継ぎPDPモジュールを生産・販売する。従業員は約1100人で、年間600億円の売上を見込んでいる。

Philips 単板プロジェクタ用1型LCOSを開発

　Royal Philips Electronics(オランダ)は、プロジェクタ用単板式1.8型LCOS「ENGAZE DD720」を発表した。
　解像度は1280×768画素、コントラストは1000：1、リフレッシュレートは180Hz。03年第2四半期から量産を開始する。

Vテク 第6世代用TFT-LCD/CF検査装置を受注

　ブイ・テクノロジーは、第6世代TFT-LCD/カラーフィルタ(CF)用検査装置「Capricorn」を相次いで受注したと発表した。受注金額はTFT-LCD検査装置が約8億円で、03年度に出荷する。一方、CF検査装置は約3億円で、今年度中に納入する予定。