大日本印刷 アドバンスト・カラーテックを子会社化

　大日本印刷、旭硝子、三菱化学は、旭硝子と三菱化学の合弁会社でLCD用カラーフィルタメーカー「アドバンスト・カラーテック(ACTI)」の株式を大日本印刷が旭硝子、三菱化学それぞれから40％ずつを取得することで合意した。実質的な子会社化で、ACTIは引き続き福岡県北九州市の三菱化学黒崎事業所内でCFを生産する。

　この結果、大日本印刷は3.5世代以上の大型CFの製造能力が業界最大の14型換算で月産約260万枚にアップすることになる。

住友大阪セメント 反射防止プレート工場が完成
リアプロTV用前面パネルとして量産開始

　住友大阪セメントは、リアプロジェクションテレビの前面パネルや液晶テレビ・モバイルPCン用光学フィルタに用いられる大型・高品位反射防止プレート工場が完成したと発表した。これにともない、パイオニアの北米向けHDプロジェクションテレビのハイエンドモデル「Eliteシリーズ」向け前面パネル(53型、58型、64型)として量産出荷を開始した。

　同社の反射防止プレート「クリアラスARプレート」は、独自のナノ粒子製造技術・ナノ粒子分散技術を用いているため、従来の蒸着法によって製造された反射防止プレートに比べ大型板が製作でき、低価格化に有利といわれる。また、反射防止機能・視認性や表面強度・耐磨耗性、耐薬品性などの特性バランスがとれた高品位反射防止プレートが製造できる。さらに、優れた反射防止機能を有しているだけでなく、フラットな反射色・透過色を有しているため視認性が高い。そのほか、調色、選択吸収、帯電防止、ハードコートといった各種機能も付与することも可能となっている。

　今回、同社は精密ディップコーティング装置のトップメーカー「J.P.C」と提携。J.P.C敷地内に75型(1400×1700mm)まで対応可能な工場が完成したもの。対応サイズは1400×1700mm(75型)で、月産能力は1万2000枚。投資額は8億円。

　住友大阪セメントによると、パイオニア以外のリアプロジェクションテレビメーカー2社から認定評価中だという。また、液晶テレビ、モバイルPC、ノートPC、デジタルカメラ、カーナビゲーションといったLCD用光学フィルタ、自動車メーターパネル用けとしてもサンプル出荷中で、04年度で20億円の売上を目指している。

ノリタケ セラミックスシートを用いた新型PDPを開発
対向放電＆反射・透過兼用方式で発光効率を向上

　ノリタケカンパニーリミテドは、セラミックスシートを用いたニューストラクチャーPDP「TFCS-PDP」を開発した。画素サイズ3×3�oパネルで輝度1000cd/m2以上、発光効率2lm/W以上が期待でき、タイリング方式により屋内用100〜300型ディスプレイに最適だという。

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MicroEmissive Displays マイクロ有機ELDを開発

　MicroEmissive Displays(英国)は、マイクロ高分子有機ELディスプレイを開発した。モノクロQVGA/フルカラーQQVGAパネルの2種類で、競合するLCOS(Liquid Crystal on Silicon)に比べ1/10以下に低消費電力化した。近くデジタルカメラやビデオムービー向けとしてサンプル出荷する。

　詳細はE Express 11月1日号〜お申し込みはこちら

出光興産 寿命3万時間のフルカラー有機ELD技術を開発
青緑色材料から白色材料へシフト

　出光興産は、独自の色変換(Color Changing Media：CCM)技術と白色発光を用いた長寿命フルカラー有機ELディスプレイ技術を開発した。

　CCMパネルに従来の青色に代わり白色発光材料を用いたことで、初期輝度100nitからの半減寿命3万時間(直流連続駆動時)を実現。これにより、携帯電話やカーオーディオといった幅広いアプリケーションでフルカラー有機ELDが実現できるとしている。

大日本スクリーン LCD製造装置に積水化学の常圧プラズマ技術を導入

　大日本スクリーン製造は、積水化学工業が開発した常圧プラズマ表面改質技術を第4〜6世代LCD基板対応製造装置に搭載し、ユーザー向けの評価テストを開始する。

　導入する技術では、大気圧(＝常圧)で発生させたプラズマをガラスなどの材料に照射することにより、材料表面の親水性を高めるなど表面の性質を変えることができる。このため、洗浄工程直前に必要なガラス基板表面の親水性を高める改質処理に用いる。

　従来の装置ではエキシマランプ(UVランプ)から照射される紫外線を用いた改質処理を採用していたが、エキシマランプは寿命が短いため、頻繁に交換しなければならず、その交換費用は年間2000〜3000万円といわれる。エキシマランプを使用しない常圧プラズマ表面改質技術はランニングコストやメンテナンスコストが大幅に低減できるため、LCDのコストダウンに寄与できる。

　両社は、この技術をLCD製造装置に搭載し評価テストを行っていく。なお、有機ELディスプレイ製造装置へも搭載できるとしている。

芝浦メカトロニクス IJ印刷や液晶滴下を含めたLCDセル工程ラインの受注開始

　芝浦メカトロニクスは、洗浄からインクジェット印刷によるポリイミド塗布、シール塗布、液晶滴下、真空貼り合わせという液晶セル工程一貫ラインの受注を開始した。04年度にセル組立工程関連装置で100億円の売上を目指している。

　インクジェットPI塗布装置は、インクジェットプリンティングで高精度・高速塗布ができるため、刷版が不要となり、配向材の使用効率が90％に向上。シール材塗布装置は、液晶滴下システム対応の高粘度シールを20型パネル換算で約9秒で高速描画でき、フットプリントは従来比45％減にコンパクト化した。

　液晶滴下装置はパネルを連続移動させながら液晶材料を滴下する仕組みで、20型パネル換算で液晶材料を例えば300点滴下した場合、約40秒という高速で滴下できる。また、真空貼り合わせ装置は、液晶材料の表面張力を逆利用した独自のアライメント機構により部材の厚みバラツキやステージの平面度に影響されにくいようにした。

　液晶滴下装置・真空貼り合わせ装置を採用した液晶滴下システムは、液晶の使用効率をほぼ100％にすることが可能。また、マザーガラス単位では、ニーズに合わせた装置台数の組み合せによって前工程と同等のタクトタイムで生産することができる。さらに、チャンバ容積も従来の液晶注入装置に比べ小さく、真空消費量を大幅に低減するとともに、フットプリントも削減することができる。

凸版印刷 有機ELDでCDT、Opsysとアライアンス
フルカラー有機ELDをOpsysと共同開発する一方、CDTに出資

　凸版印刷は、Opsys(英国)とアクティブマトリクス型フルカラー有機ELディスプレイの共同開発契約を結んだ。新しいナノ材料として注目されるデンドリマーを用いたパネルを開発するもので、これにともない、先頃Opsysの経営権を取得したCambridge Display Technology(英国)の株式を取得した。3社はポリマー/デンドリマーを用いた有機ELDの開発・事業化へ向けた戦略提携を強化する。

　共同開発では、規則的分岐構造を持つ樹脂状の分子で同一分子中に発光機能と塗布特性を組みこむことで単純構造で高機能なデンドリマーを有機EL材料に使用。ウェットコーティングし高精度パターニングする材料とプロセス技術をを開発し、大型フルカラーパネルの実現を目指す。

　具体的には、�@CDTとOpsysは材料メーカーとの協業によって長寿命の材料を開発する、�A凸版印刷はウェットコーティング、インクジェット、印刷、フォトリソなどの手法による低コストな有機EL層のパターニング技術・生産技術を開発する、といった内容。

　Opsysは、世界で初めてデンドリマーを用いた有機EL材料を開発したメーカーで、今年5月の「SID」でウェットプロセスによる最高輝度の素子を発表。デンドリマー有機EL材料は、ウェットプロセスによる塗布適性が優れているばかりか、高効率が可能なため、急速に注目を集めている。

　凸版印刷では、有機ELD市場は05年度には2300億円、07年度に4000億円に成長すると予測。共同開発した技術・商品を電機メーカー、ディスプレイメーカーへ供給することにしている。

エプソン デジカメ用半透過型D-TFDを開発

　セイコーエプソンは、デジタルスチルカメラ用1.6型D-TFD「クリスタルファイン・カラー液晶」を開発した。デジカメ向けでは業界初の半透過型LCDで、屋外での視認性を向上するとともに、室内や夜間でも画像がクリアに認識できるようにした。

　また、パネルの透過率を従来の7％から10％へ改善することにより表面輝度を180cd/m2から250cd/m2へ向上。これにともない、電池寿命を長くするため、バックライトの消費電力を200mWから150mWへ低減した。この結果、薄型バックライトが使用できるようになり、デジカメ本体がスリム化できる。ドット数は460×240で、26万色が表示できる。来春から量産を開始する予定。

NEC 20.1型QSXGA TFT-LCDを開発

　NECは、設計・デザイン・医療用プロフェッショナルモニター用20.1型TFT-LCDを開発した。画素数はQSXGA(2560×2048画素)で、1677万色のカラーモデルとモノクロモデルを03年に製品化する。

　カラーモデルはRGBそれぞれ8ビット入力、1677万色表示に対応し、EBU規格100％対応の色再現範囲(対NTSC比72％)を実現。モノクロモデルは、サブピクセル256階調表示により1ピクセルあたり766階調に多階調化するとともに、輝度850cd/m2、コントラスト600:1という業界最高レベルを実現した。

　いずれもQSXGAという超高精細が特徴で、CAD、CG、X線写真の表示などに最適。また、上下左右170°という広視野角を誇る。

ニコン 低温Poly-Si TFT用ステッパを発売

　ニコンは、低温Poly-Si TFT-LCDをはじめとする高精細TFT-LCD用ステッパ型露光装置「FX-801M」の販売を開始する。標準価格は5億7500万円で、初年度は10台の出荷を見込んでいる。

　FX-801MはL/S＝3μmと従来モデルの解像度を確保しながら、対応基板サイズを600mm×720mmから730mm×920mmへスケールアップ。マザーガラスから2型パネルが294枚、4型パネルが84面取りできる。

　フォトマスクには一般的な6インチレチクルが使用できるため、パターニング誤差を最小化できるとともに、アライメント精度を0.4μm以下に高精度化した。1ショットの露光面積は132mm×132mmで、タクトタイムはフォトレジスト感度30mJ/cm2で89秒(42ショット)となっている。

清和光学 有機ELDのダークスポットリペア装置の概要を明らかに

　清和光学製作所は、有機ELディスプレイ用ダークスポットリペア装置の概要を明らかにした。ダークスポットにレーザーを照射してその根を断ち切る装置で、すでに有機ELD業界ではデファクトスタンダードになりつつあるようだ。

　詳細はE Express 10月15日号

NEC 産業用10.4型TFT-LCDを発売

　NECは、産業機器用10.4型VGA a-Si TFT-LCD「NL6448BC33-53」を開発、来年2月からサンプル出荷を開始する。

　NL6448BC33-53はSuper Advanced-Super Fine TFT(SA-SFT)技術を採用し、上下/左右170°という広視野角(コントラスト比10:1以上)を実現。また、パネルの透過率を約1.5倍に向上し、輝度350cd/m2、コントラスト比300:1を達成した。従来モデルと外形、取り付け穴位置、取り付け穴と表示画面中心との相対位置関係で互換性を確保した。

　サンプル価格は6万円で、来年4月から月産1万枚規模で量産する。

Samsung Electronics 46型TFT-LCDを開発

　Samsung Electronicsは、46型ワイドTFT-LCDを開発した。先頃立ち上げたばかりの天安(Chonan)工場のFab5で試作したもので、1100×1250mmマザーガラスから2面取りできる。03年上期に量産する予定。
　画素数は1280×720で、輝度は500cd/m2、コントラストは800:1、応答速度は12msec、色再現性はNTSC比72%、消費電力は230Wとなっている。

クリスタージュ SiO2膜用リモートプラズマCVD装置ビジネスを模索

　クリスタージュは、独自開発したリモートプラズマCVD装置を外販する方向で検討している。低温Poly-Si TFTなどによるシステム・オン・パネル向けで、高品位なゲート絶縁膜が作製できるという。今後、事業化へ向けマスプロダクション装置では真空装置メーカーとタイアップしたい考え。

　詳細はE Express 10月15日号

凸版印刷 E Inkの役員会に河合英明常務が参加

　凸版印刷は、生産・技術・研究本部長兼新商品事業推進部担当常務取締役の河合英明がE Inkの役員会へ参加すると発表した。
　河合英明氏は02年6月常務取締役に就任以来、全社の技術行政を司る生産・技術・研究本部長として全事業分野における生産・技術・研究部門を統括。また、リアプロジェクションスクリーンやLCDの反射防止膜などの新商品事業推進部門・総合研究所の担当役員も務めている。

日本ビーテック クリーピングレスAl蒸着セルの構造を明らかに

　日本ビーテックは、Al特有の現象であるクリーピングを防止できるAl専用蒸着セルの構造を明らかにした。このセルを使えば、クリーピングは100％防止できるという。

　詳細はE Express 10月15日号

Photon IntevacのRTP技術を買収

　Photon Dynamics(米国)は、米IntevacのFPD用RTP(Rapid Thermal Processing)技術を買収すると発表した。買収金額は2000万ドル。従来と同様、低温Poly-Si TFTのPoly-Si膜活性化装置として製品化する。

セイコーエプソン ホームシアター用高温Poly-Si TFT-LCDを開発

　セイコーエプソンは、ホームシアター用高温Poly-Si TFTワイドパネル(開発名称：Dream�V)を開発、販売を開始した。

　製品化したのは0.7型ワイド(960×540)、0.9型ワイドパネル(1284×724)で、どちらも開口率は52％、コントラストは500：1。独自のDream�Vプロセスルールを採用し、高輝度、高精細、広い色再現性を実現した。フロントプロジェクタに加え、リアプロジェクション用途としても使用が可能。 　03年度には0.5型ワイド(480P)、フルHD対応1.6型ワイドパネルを製品化する予定。

エプソン 高温Poly-Si TFT-LCDの累積出荷枚数が1000万枚に

　セイコーエプソンは、プロジェクタ用高温Poly-Si TFT-LCDの累計出荷枚数が1000万枚を突破したと発表した。94年の量産開始以来、9年で達成した。2年以内に2000万枚の出荷を目指す。

日本ゼオン LCD用光学フィルム市場に進出
位相差フィルムや偏光板保護フィルムを生産

　日本ゼオンは、熱可塑性高機能透明樹脂であるシクロオレフィンポリマー(商品名：ゼオノア)を用いたLCD用光学フィルム「ゼオノアフィルム」の製造・販売を開始した。生産拠点は光学部品製造子会社のオプテス・高岡工場(富山県高岡市)で、05年度に50億円の売上げを計画している。

　ゼオノアフィルムは高透明性、低複屈折、低波長分散、低光弾性といった優れた光学特性を保持。また、市販の光学フィルムに比べ低吸湿性、高耐熱性という特徴がある。このため、LCDの位相差フィルムや偏光板保護フィルムとして販売することにした。

　光学フィルムの製造方法には溶液キャスト法と溶融押出し法があり、既存の光学フィルムは溶液キャスト法で製造される。溶融押し出し法は、樹脂ペレットをそのまま加熱溶解した後、押し出し機で押し出してフィルムを作るため、生産性が高く、設備投資額も比較的少ない。その反面、膜厚精度を高めることが困難で、かつフィルム上にダイラインと呼ばれる細かいスジができるため、高品質が要求される光学フィルムの製造は不可能とされていた。

　今回、日本ゼオンとオプテスはゼオノアを用いて溶融押し出し法による光学フィルムの製造にトライ。加熱溶融時の流動性に優れたグレードなどを開発することで初めて商業的生産に成功した。

NEC 192出力のPDP用ドライバICを開発

　NECは、192出力のPDP用データドライバIC「μPD16347」を開発、11月からサンプル出荷を開始する。

　μPD16347はTCP(Tape Carrier Package)などのフリップチップ実装に対応できるスリムチップ化を実現�A80V高耐圧SOI(Silicon On Insulator)プロセスを採用�Bデータ入力が従来比の1.5倍の60MHzに高速化、などが特長。

　サンプル価格は標準70mm幅TCPに搭載した場合で、800円。03年5月以降、月産300万個規模で量産する。

シャープ/半導体エネルギー研究所 CGシリコン技術でガラス基板上に8ビットCPUを形成

　シャープと半導体エネルギー研究所は、共同開発したCGシリコン(Continuous Grain：連続粒界結晶シリコン)技術により、LCD用ガラス基板上に8ビットCPUを形成することに成功した。

　CGシリコンは電子移動度が、従来のアモルファスシリコンの約600倍、多結晶シリコンの約3倍と高速であることから、LCD用ガラス基板上にドライバ、電源回路、入出力インターフェース回路などLSIを同時に形成できる。これによりLCDの狭額縁化、周辺部品の削減、低消費電力化などによる最終デバイスの高付加価値化に期待が寄せられている。

　今回の発表ではCGシリコンの結晶性を向上、新規プロセス技術の導入により、LCD用ガラス基板上に8ビットCPUを形成、動作を確認している。シャープではこうした情報処理回路の組み込みにより、最終的にシート型コンピュータやシート型テレビといった未来の超薄型製品の実現を目指す考えを示している。

TDKと出光興産 有機ELDでクロスライセンス契約を締結

　TDKと出光興産は、有機ELディスプレイに関しクロスライセンス契約を締結した。具体的には、TDKは保有する有機EL材料の特許を出光にライセンス。一方、出光は有機ELデバイス関連特許をTDKにライセンスする。

　この結果、TDKは出光の特許を活用しカーオーディオ用などの有機ELDの生産・販売を推進。出光はTDKの材料特許を用いて材料のラインアップを拡大する。

　また、両社はこれまで白色発光有機EL材料と青色発光有機EL材料を中心に高効率、長寿命の材料の共同開発を推進しており、今後もこうした協力関係を継続する考え。

ヒューネットとSamsung SDI FS方式LCDのライセンスで正式契約

　ヒューネットは、Samsung SDIとFS(フィールドシーケンシャル)方式LCDのライセンス供与で正式契約した。Samsung SDIは年間1億枚の携帯電話用ディスプレイを生産しており、そのうちの1/4以上にFS-LCDを採用する見通し。

住友商事 中国華東地区で電子材用化学品の専門販社を設立

　住友商事と上海住友商事有限公司は、中国上海市に電子材用化学品(電子材料ケミカル)の専門販売会社を設立する。

　新会社は「上海住商信息電子材料有限公司」。資本金は100万ドルで、住友商事が25％、上海住友商事が75%を出資する。中国華東地区で高純度薬品、特殊ガス、封止材原料、フォトレジストなどの電子材料ケミカルを販売する。5年後に100億円の売上高を目指している。

E Ink 3PEP a-Si TFT製造技術でアライアンスを模索

　米E Inkは、独自開発した3PEP(Photo Eching Process)a-Si TFT製造技術に関してa-Si TFT-LCDメーカーとアライアンスを模索していることを明らかにした。SUSやプラスチックフィルムなどのサブストレートに低温プロセスでa-Si TFTを作製できる技術で、パートナーに製造技術を供与し、フレキシブル電気泳動ディスプレイ用アクティブ基板を量産したい考え。

　詳細はE Express 10月15日号

Kodakと住友商事 有機EL材料で販売提携

　Eastman Kodakと住友商事は、日本における有機EL材料の物流・販売で提携し、総販売代理店契約を交わした。
　住友商事はAlq(電子輸送材料)やNPB(ホール輸送材料)をはじめとする約10種類のKodak製材料を販売。国内に在庫を持つことで有機ELDメーカーへの出荷を短納期化する。

大日本スクリーン 低温Poly-Si TFT-LCD用枚葉式洗浄装置を発売

　大日本スクリーン製造は、低温Poly-Si TFT-LCD/アクティブ有機ELD用枚葉式スピン洗浄装置「FM-400G/FM-750G」を製品化する。FM-400Gは420×525�o、FM-750Gは730×920�oに対応できる。

　両機種とも処理室内の気流を制御できる密閉型カップ構造を採用し、スピン処理中に発生するミスト(霧)がガラス基板へ再付着するのを防止。また、ウオーターマークを発生させずに洗浄・乾燥が可能。さらに、ガラス基板裏面へ薬液が回り込まないようノズルの配置を工夫するとともに、表面・裏面それぞれ独立した気流・薬液吐出の制御機構を導入し、薬液による2次汚染やムラの発生を抑えた。

　価格はFM-400Gが8000万〜1億3000万円、FM-750Gが1億〜1億5000万円。年間それぞれ20台の販売を見込んでいる。