日立造船 フルカラー有機ELD用蒸着装置のデモ機を製作
メタルマスクと基板のアライメント精度を±5μm以内に

　日立造船は、フルカラー有機ELディスプレイ用蒸着装置の開発に着手、03年度上期にデモ機を製作する。大型基板対応でアライメント精度を±5μm以内に抑制したデモ機で、蒸着したワークをサンプル出荷する予定だ。

　詳細はE Express 3月15日号

クボテック 台湾のCFメーカーからライン一括モニタリングシステムを受注

　クボテックは、台湾のカラーフィルタ(CF)メーカーから第5世代CF生産ライン向けとして「ライン一括モニタリングシステムLOOCS」を受注した。受注額は約6億円で、04年度に納入する予定。

　LOOCSとはLine Observation & Optimization Control System(ラインの観察＆最適化・制御システム)の略で、多種多様の検査装置を独立して設置するのではなく、すべてをネットワークで一元管理してリアルタイムモニターし最適化するシステム。

住友ベークライト 有機ELD用平滑プラスチック基板を開発

　住友ベークライトは、有機ELディスプレイ用超平滑プラスチック基板「FST-XA012」を開発した。PES(ポリエーテルサルフォン)基板上に平滑化コート層を設けたもので、UV硬化型樹脂をウェットコーティングし、UV光を照射させるだけでウルトラフラットネスレイヤーが得られる。

　詳細はE Express 3月15日号

iFire Tecnologyと大日本印刷 無機ELDの開発で提携

　iFire Tecnology(カナダ)と大日本印刷は、35型クラスの無機ELテレビを共同開発する。これにともない、iFireと三洋電機は従来の技術提携契約を拡大し、35型クラスの無機ELDの開発を提携項目に追加した。

　大日本印刷は、千葉県柏市にあるパイロットラインを使用し無機ELD「iFire Display」のフロントエンド部分の作製を担当。フロントエンド工程にはガラス基板の前処理、電極、厚膜誘電体層の形成などが含まれる。これらが形成されたパネルはiFire本社へ搬送され、蛍光体層、カラム電極、色補正層の形成や電子部品の組み立てなどのバックエンド工程を経て完成する。

　iFire では、「当初は生産能力を限定したパイロットラインの導入を予定していたが、大日本印刷と提携することになり早期の量産準備が整ったことになる。このため、年末までに35型クラスのモノクロパネルのプロトタイプを開発し、04年上期までにカラーパネルを開発。05年に量産可能な最終製品の完成を目指している」とコメントしている。

　一方、今回のアライアンスをアシストするため、iFireと三洋電機は従来の技術提携内容を拡大し、17型パネルの試作技術などを35型クラスにも適用することにした。この結果、大日本印刷の生産ラインへのアクセスが可能になり、三洋電機とiFireの共同開発プロジェクトを35型クラスで行うことができる。これにともない、iFireはR&Dツールのコンポーネントの一部を商品化レベルにアップグレードするとともに、バックエンド工程用大型基板対応ツールを発注した。

有機ELDで非ボトムアッププロセスが浮上
一方の基板にカソードをスパッタ＆エッチングしてパターニング

　低分子有機ELディスプレイの製造プロセスで従来とは異なるニュープロセスが浮上してきた。一方の基板にカソードなどを形成し、有機層層を設けた有機EL基板と貼り合わせるという方式で、パッシブマトリクスパネルに不可欠とされるカソードセパレータが不要になり、スパッタリング＆フォトエッチングというコンベンショナルなメソッドでカソードが形成できる。

　詳細はE Express 3月15日号

NECと上海広電 中国上海にTFT-LCD合弁会社を設立

　NECと中国の上海広電(集団)有限公司(以下SVA)は、中国上海市にTFT-LCD合弁会社を設立することで最終合意した。新会社の資本金は500億円で、SVAグループが75％、NECが25％を出資し、6月に発足する予定。

　新会社は前工程から後工程までの一貫生産ラインを導入。対応マザーガラスサイズは1100×1300�oで、投入能力は4万5000枚/月。来年10月からPC、モニター、テレビ用大型TFT-LCDを生産し、おもに中国市場向けに販売する。設備投資額は約850億円で、量産時は約1200名を予定している。なお、会社名は未定。

パイオニアビデオと静岡パイオニアが合併
パイオニア・ディスプレイ・プロダクツが発足

　パイオニアグループは4月1日付でパイオニアビデオ(山梨県田富町)を分割し、半導体事業(国母事業所)を「パイオニア・マイクロ・テクノロジー」として独立させるとともに、静岡パイオニア(静岡県袋井市)がパイオニアビデオ・田富事業所を合併し、新たに「パイオニア・ディスプレイ・プロダクツ」として発足すると発表した。

　この結果、パイオニア・ディスプレイ・プロダクツは静岡県袋井市に本社、静岡工場、山梨工場を量産拠点にする。なお、田富町で今春着工するPDP生産ライン(第4ライン)は、新会社が建設する。稼働は05年春の予定。

セイコーエプソン 次世代プロジェクタ用高温Poly-Si TFT-LCDを開発

　セイコーエプソンは、次世代液晶プロジェクタ用高温Poly-Si TFT-LCD「D4シリーズ(開発名称)」を開発、6月からサンプル出荷を開始する。

　D4シリーズは高精細加工技術により画素ピッチを12μmに微細化しながら、開口率を0.7型ワイドXGAで50％と従来の0.9型パネルと同レベルに高めた。これは、同一のパネルサイズの場合、0.7型XGAで従来53％だった開口率を60％に向上できることを意味する。

　また、新たな平坦化技術によって液晶セルギャップを2.5μmに狭め、応答速度を従来比25％高速化するとともに、500:1という高コントラストを実現した。 　これらの結果、プロジェクト用ライトバルブとして用いた場合、�@同一ランプでは輝度向上する、�A同一解像度、同レベル開口率ではTFT-LCDモジュールの小型化・ハイコストパフォーマンス化、�B動画画質の向上、が図れるとしている。

　今回開発した技術によって0.7型XGA(1028×772画素)、0.7型720Pワイド(1284×724画素)、1.6型1080Pワイド(1920×1080画素)を開発。6月からサンプル出荷し、9月から製品化する予定だ。

スペクトラテック 7141階調の医療用モノクロTFT-LCDを開発

　スペクトラテックは、世界最高の12.8ビット(7141階調)を表現するモノクロTFT-LCD技術を開発した。医療モニター向けで、独自の超高階調化変調技術「SGS方式(Super Gray Shading Technology)」をベースにしている。

　同社は昨年3月、1786階調の20.1型SXGAモノクロTFT-LCDを開発。今回新たなアルゴリズムを開発したことにより、さらなる高階調化に成功した。

　開発した20.8型モノクロQXGA TFT-LCDはコントラストが600：1、輝度が600cd/m2以上。米Data Rayと共同開発した医療用モニター「ＰRECISION3X(仮称)」に搭載され、近く発売される予定。

　この多階調化技術は500万画素、900万画素パネル、また医療用途以外でも非破壊X線検査装置用ディスプレイや電子顕微鏡用ディスプレイにも適用できるという。

UV励起ガラス蛍光体が実用化へ大きく前進
UV光なら波長に関係なく10％以上の発光効率が

　コンベンショナルなパウダー蛍光体に代わって、一躍注目度が増してきた産業総合技術研究所(産総研)のガラス蛍光体。nmレベルの粒径によってUV励起発光色が自在に設定でき、波長によらず10％という発光効率が得られる。その用途はランプやLCDバックライト、そしてPDPまで幅広い。とくに現在のPDPは147nm励起と低いエネルギー効率しか得られないため、今後の高効率化へ向けた有力なマテリアルになる可能性が出てきた。

　詳細はE Express 3月15日号

富士通研究所・富士通 有機色素の光物性を予測可能なソフトを開発

　富士通研究所と富士通は、可視光を吸収・発光する有機分子の光物性を高精度に予測できる分子軌道計算ソフトウェアを開発した。このソフトウェアを用いると、従来困難だった有機EL材料やフォトクロミック材料といった機能性有機色素の光物性が高精度で予測できる。

　開発したのは、分子の熱物性を予測するための富士通のソフトウェア「MOPAC 2002」に用いている高精度パラメータセットを光物性の予測に適用できるよう改良したソフトウェア。新たに電子同士の斥力計算、分子軌道の算出、光吸収にともなう電子同士の斥力変化を計算するソフトウェアを開発し、富士通のソフトウェア「半経験的分子軌道計算プログラムMOS-F V5」に組み込んだ。

　この高精度パラメータセットは、極性基が結合したことによる分子内の電子分布をより高精度に予測できる NDDO(Neglect of Diatomic Differential Overlap)分子軌道法に基づいて最適化された原子のエネルギーに関する経験値で、2原子にまたがる原子軌道間の電子斥力を計算するため、従来に比べ極性基が結合したことによる分子内の電子分布を正確に計算できる。

　このため、機能性有機色素の光物性を高精度にシミュレーションでき、大学などにおける有機分子の光物性に関する基礎研究はもとより、企業における機能性有機色素の材料開発を加速するいう。

　6月以降、半経験的分子軌道計算プログラム「MOS-F V6」として製品化し、UNIX版分子軌道計算ソフト「MOPAC2002」およびWindows版MOPAC2002「WinMOPAC」にバンドルされる予定。

健正堂 Ni/Cu/Niメタルマスクで有機ELD用メタルマスク市場へ侵攻
社内で各層を電解メッキ成膜するため膜厚変更が容易

　健正堂は、低分子有機ELディスプレイ用蒸着メタルマスク市場へ進出する。Ni/Cu/Niの3層構造が最大の特徴で、自社で各層を電解メッキ成膜し、ウェットエッチングで開口パターンを設けるため、それぞれの膜厚調整も自在で、コンベンショナルなエッチング法では不可能なハイプレシジョンメタルマスクが実現できる.

　詳細はE Express 3月15日号

ペンタックス 超大型PDP用レーザー直描装置を開発
1200×1500�o基板を50秒で描画可能

　ペンタックスは超大型PDP用レーザー直接描画装置「ペンタックス DI−PDP」を開発、受注を開始した。最大1200×1500�o基板に対応可能で、描画速度も液状フォトレジストを用いた場合で約50秒に高速化した。価格は2億5000万円からで、初年度は4台の受注を見込んでいる。

日立造船 有機ELD蒸着・封止装置事業戦略を明らかに

　富士第一製作所を買収しFPD製造装置市場へ本格参入した日立造船は、有機ELディスプレイ用蒸着・封止装置事業の戦略を明らかにした。蒸着装置は富士第一製作所の既存技術を踏襲、封止装置は大日本科研などとタイアップし蒸着・封止一貫システムをリリースする。

　詳細はE Express 3月15日号

Applied Nanotech FED用CNTカソード基板を4工程で作製

　米Applied Nanotechは、わずか4ステップでFED用CNT基板が製造できる技術を開発した。この結果、コスト高といわれていたCNT-FEDのローコスト化が一段と現実味を増してきた。

　詳細はE Express 3月15日号