日立造船 プラズマCVD法で有機ELDを薄膜封止
セルバックと独占提携し薄膜封止装置を製品化

　日立造船は、有機ELディスプレイ用蒸着・封止システムに薄膜封止装置をビルトインする。独自の薄膜封止技術を開発したセルバックとエクスクルーシブで提携。SiNx/SiOx/SiNxマルチレイヤーによって有機EL素子が薄膜封止できる封止装置をリリースする。

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Analog Devices　TFT-LCD用チャージポンプレギュレーターを発売

　米Analog Devicesは、TFT-LCD用チャージポンプレギュレーター「ADM8839」を発売した。携帯電話、PDA、ポケットPC向けで、価格は1000個受注時で1.50ドル。

　ADM8839は高性能のチャージ・ポンプ技術を用いており、LCDコントローラおよびトランジスタのゲートドライバに必要な3つの電圧、つまり＋5V、＋15V、−15Vを単一の3V電源から供給できる。具体的には、電源電圧はまず2倍にされ、LDO(低損失レギュレータ)によってレギュレーションされて低リップルの5V出力を供給。この5V出力がチャージ・ポンプ回路を駆動し、＋15Vと−15V出力を生成する。ADM8839には電源供給シーケンスがあり、−15V電源が＋11V電源よりも先に立ち上がるようになっている。

　また、出力電圧をモニターし、電荷を5V出力に供給する必要がある場合のみチャージ・ポンプをオンにするGreen Idle(間欠発振方式)による省電力モードを搭載。電力効率を82％に高めることに成功している。

三井造船 岡山県玉野のクリンショップが完成

三井造船は、玉野事業所(岡山県玉野市)内に建設していたFPD/半導体製造装置用クリンショップが完成したと発表した。新しいクリンショップは第1クリンショップと名づけられ、FPD/半導体製造装置の中核製造拠点に、一方、既存のクリンショップは第2クリンショップとして次世代LCD製造装置の開発拠点にする。

　第1クリーンショプは長さ107×幅40m×高さ11mで、クリーン度はクラス1万に対応。1800×2000mmクラスの第7世代a-Si TFT-LCD用製造装置の生産・試運転が可能。生産キャパシティはイオン注入装置をはじめとするTFTアレイ工程装置で年間40〜60台となっている。

リンクスタージャパン 有機EL蒸着用メタルマスク市場へ進出
健正堂のNi/Cu/Ci3層エッチングマスクを量産供給

　リンクスタージャパン(LSJ)は、低分子有機ELディスプレイ用蒸着メタルマスク市場へ進出する。メタルマスクメーカーの健正堂のメタルマスクを販売するもので、すでに韓国メーカーなどから量産採用という手答えが得られているようだ。

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東京応化 韓国にサポート・販売拠点を新設

　東京応化工業は、韓国ソウル市内にユーザーサポート・販売拠点を新設する。
　新拠点にはセールスエンジニアが常駐し、フォトレジストなどの材料、ならびにコーターをはじめとする製造装置のユーザーサポートと販売活動を行う。開設は10月の予定。

JST アイメスへの委託により白色有機ELバックライトを開発

　科学技術振興事業団(JST)は、LCD用白色発光有機ELバックライトを開発した。山形大学・城戸淳二教授らの研究成果「白色発光有機ELバックライト」の委託開発事業としてアイメスへ開発を委託していたもので、輝度は1万cd/m2以上、発光効率は15ルーメン/Wを達成した。

仏DGTecからアンビリーバブルなPDPリブパウダーが
PbOフリーで焼結せず、排気時に不純物ガスを吸着

　PDPのバリアリブ材料の常識を覆すニューマテリアルが登場する。仏のベンチャー企業「DGTec」の開発した画期的なセラミックパウダーで、コンベンショナルなガラスパウダーと違い、焼結しない。つまり、リブ形状にした後も表面だけでなく、リブ自体がポーラスな状態にとどまる。このため、H2OやCO2といった不純物ガスをリブ内に吸着し、パネル排気時間を大幅に短縮することができる。もちろん、排気後に不純物ガスが放電セル内へ再放出されることはないという。

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エプソン 千歳事業所でのLCD工場建設を再開
300mmウェハー対応ラインを導入

　セイコーエプソンは、千歳事業所(北海道千歳市)での高温Poly-Si TFT-LCD工場の建設を再開する。総投資額は297億円で、8月中に建設工事を再開、04年6月に第1期工事が竣工する予定。

　高温Poly-Si TFT-LCD工場は03年度操業を目指し01年8月に着工、すでに建物は完成しているが、世界的な景気低迷を踏まえ操業時期を04年に先延ばししていた。ここにきてプロジェクション市場が順調に回復してきていることから、04年10月に立ち上げることにした。

　敷地面積は約16万m2で、工場は地上6階建て延床面積8万1386m2。同社初の300mmウェハー石英ガラス対応ラインを導入。月産能力はウェハー換算で2000枚で、マーケット動向次第で順次、増強する。

大日本印刷　第5世代用CFの増産体制を構築
日・台に新工場を建設し月産470万枚体制に

　大日本印刷は第5世代向けカラーフィルタ(CF)の生産能力を増強、新ラインを国内と台湾に増設すると発表した。増強するのは国内の三原工場(広島県)と、台湾のジョイントベンチャー「南金光電股有限公司」の2拠点で、この結果、トータル月産能力は470万枚(14型換算)に拡大、TV-LCD用など大型CF分野でトップメーカーとなる。

　今回の増強は、IPSやMVAといった新しい液晶モードや、液晶滴下方式など新プロセスへの対応が背景にある。パネルメーカーは一方でCFの内製化を進めているが、これら新技術の導入でCFが多様化、プロセスステップも増加しており、その対応が専業メーカーに求められている。大日本印刷の新ラインはMVA用リブや柱状スペーサー、オーバーコーティングといった新規プロセスに対応。また、三原工場では受注量の変化に柔軟に対応可能なフレキシブルラインを構築する。

TI DLPサブシステムの累積出荷台数が200万台に

　米Texas Instrumentsは、DLP(Digital Light Processing)サブシステムの累積出荷台数が200万台に達したと発表した。96年初めの量産開始から2001年12月までに100万台を出荷。その後、わずか18ヶ月で100万台を出荷した格好。

量産化へカウントダウンがはじまった電子ペーパー
今秋にe-book端末が登場、コンテンツサービスも本格化

　紙、電子ディスプレイに次ぐ第3のメディア、電子ペーパー＆ペーパーライクディスプレイがいよいよマーケットに登場する。先行するのはコレステリック液晶タイプで、松下電器産業がe-book端末をリリースするとともにコンテンツ配信サービスに本腰を入れる。このフィールドで先行していた感のある米E Ink＆凸版印刷も年内にはマイクロカプセル型電気泳動ディスプレイで電子ペーパー市場へ上陸。その一方、キヤノン、ソニー、富士ゼロックス、ブリヂストン、大日本インキ化学工業、Gyricorn(米)、米SiPixなども参戦を虎視眈々と狙っている。E Express 8月1日号では量産化へ秒読み段階になってきた電子ペーパーを特集した。

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東芝松下ディスプレイ 有機ELDの製品化構想を明らかに

　東芝松下ディスプレイテクノロジーは、東京ビッグサイトで開かれた「WIRELESS JAPAN 2003」で3.5型低分子有機ELディスプレイを公開するとともに、その製品化計画を明らかにした

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三菱化学 405nmレーザー直描用DFRを開発
高解像性と高感度というトレードオフの関係を打破

　三菱化学はバイオレットレーザー(405nm)用DFR(ドライフィルムフォトレジスト)を開発、来春にも製品化する。コンベンショナルなh線用DFRでなく、“正真正銘の405nm対応DFRだという。このため、レジスト厚20μmでL&S＝16μmという高解像度を実現しながら、5〜10mJ/cm2に高感度化することに成功した。

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